Dünaamilise skaneeriva optilise süsteemi optika: 1 tk väikese fookusega lääts, 1-2 tk fookusega lääts, Galvo peegel. Kogu optiline lääts moodustab funktsiooni kiire laienemisest, fokuseerimisest ja kiire suunamisest ning skaneerimisest.
Laienev osa on negatiivne lääts ehk väikese fookusega lääts, mis realiseerib kiire laienemist ja liikuvat suumi, fokuseeriv lääts koosneb positiivsete läätsede rühmast. Galvopeegel on galvanomeetrisüsteemi peegel.
(1) Läätse disaini optimeerimine: läbimõõdu ja paksuse optimaalne suhe
(2) Objektiivi kõrge kahjustuslävi: > 30J/cm2 10ns
(3) Ülimadala neeldumisega kate, neeldumiskiirus: <20 ppm
(4) Galvanomeetri paksuse ja läbimõõdu suhe: 1:35
(5) Objektiivi pinna täpsus: <= λ/5
Objektiivijärgne lääts
Maksimaalne sissepääsupupill (mm) | Optika 1 läbimõõt (mm) | Optika 2 läbimõõt (mm) | Optika 3 läbimõõt (mm) | Skannimisväli (mm) | Selge ava Skanneri pikkus (mm) | Lainepikkus |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 µm |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030–1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Peegelpeegel
Osa kirjeldus | Läbimõõt (mm) | Paksus (mm) | Materjal | Kate |
Räni reflektor | 25.4 | 3 | Räni | HR@10.6um,AOI: 45° |
Räni reflektor | 30 | 4 | Räni | HR@10.6um,AOI: 45° |
Kiudpeegeldi | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
Kiudpeegeldi | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
Kiudpeegeldi | 50 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
532 Helkur | 25.4 | 6 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Helkur | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Helkur | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Helkur | 50 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
355 Helkur | 25.4 | 6 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm ja 433nm, AOI: 45° |
355 Helkur | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm ja 433nm, AOI: 45° |
355 Helkur | 25.4 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm ja 433nm, AOI: 45° |
355 Helkur | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm ja 433nm, AOI: 45° |
Galvo peegel
Osa kirjeldus | Maksimaalne sissepääsupupill (mm) | Materjal | Kate | Lainepikkus |
55 mm pikkus * 35 mm laius * 3,5 mm kõrgus 62 mm pikkus * 43 mm laius * 3,5 mm kõrgus-ümbermõõt | 30 | Räni | MMR@10.6um | 10,6 µm |
55 mm pikkus * 35 mm laius * 3,5 mm kõrgus 62 mm pikkus * 43 mm laius * 3,5 mm kõrgus-ümbermõõt | 30 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090nm | 1030–1090 nm |
55 mm pikkus * 35 mm laius * 3,5 mm kõrgus 62 mm pikkus * 43 mm laius * 3,5 mm kõrgus-ümbermõõt | 30 | Sulatatud ränidioksiid | HR@532nm | 532 nm |
55 mm pikkus * 35 mm laius * 3,5 mm kõrgus 62 mm pikkus * 43 mm laius * 3,5 mm kõrgus-ümbermõõt | 30 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm | 355 nm |
Kaitsev lääts
Läbimõõt (mm) | Paksus (mm) | Materjal | Kate |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |