Dünaamilise skaneerimisega optilise süsteemi optika: 1 tk väike fookusobjektiiv, 1-2 tk fookuslääts, Galvo peegel. Kogu optiline lääts moodustab kiire laienemise, teravustamise ja kiire kõrvalekalde ning skaneerimise funktsiooni.
Laiendavaks osaks on negatiivobjektiiv ehk väikefookusobjektiiv, mis realiseerib kiire laiendamise ja liikuva suumi, teravustamisobjektiiv on kokku pandud positiivsete läätsede rühmast. Galvo peegel on galvanomeetrisüsteemis peegel.
(1) Objektiivi disaini optimeerimine: läbimõõdu ja paksuse suhte optimaalne suhe
(2) Objektiivi kõrge kahjustuslävi:>30J/cm2 10ns
(3) Ülimadala neeldumisvõimega kate, neeldumiskiirus: <20 ppm
(4) Galvanomeetri paksuse ja läbimõõdu suhe: 1:35
(5) Objektiivi pinna täpsus:<= λ/5
Objektijärgne objektiiv
Maksimaalne sissepääsupupill (mm) | Optika 1 läbimõõt (mm) | Optika 2 läbimõõt (mm) | Optika 3 läbimõõt (mm) | Skaneerimisväli (mm) | Selge ava skanner (mm) | Lainepikkus |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 um |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektor peegel
Osa kirjeldus | Läbimõõt (mm) | Paksus (mm) | Materjal | Katmine |
Ränist helkur | 25.4 | 3 | Räni | HR@10.6um,AOI: 45° |
Ränist helkur | 30 | 4 | Räni | HR@10.6um,AOI: 45° |
Fiber helkur | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
Fiber helkur | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
Fiber helkur | 50 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090nm,AOI: 45° |
532 Helkur | 25.4 | 6 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Helkur | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Helkur | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Helkur | 50 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
355 Helkur | 25.4 | 6 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Helkur | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Helkur | 25.4 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Helkur | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Galvo peegel
Osa kirjeldus | Maksimaalne sissepääsupupill (mm) | Materjal | Katmine | Lainepikkus |
55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Räni | MMR@10.6um | 10,6 um |
55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Sulatatud ränidioksiid | HR@532nm | 532 nm |
55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355nm | 355 nm |
Kaitsev objektiiv
Läbimõõt (mm) | Paksus (mm) | Materjal | Katmine |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |