Dünaamiline skaneerimine optilise süsteemi optika: 1 tk väikese fookusega objektiiv 、 1-2PCS fookuslääts 、 Galvo peegel. Kogu optiline lääts moodustab tala laienemise, fookuse ja kiirte läbipainde ja skaneerimise funktsiooni.
Laienev osa on negatiivne objektiiv, st väikese fookusega objektiiv, mis realiseerib tala laienemist ja liikuvat suumimist, keskenduv lääts koosneb positiivsete läätsede rühmast. Galvo peegel on Galvanomeetri süsteemis peegel.
(1) Läätsede optimeerimine: läbimõõdu ja paksuse suhte optimaalne suhe
(2) Läätse suure kahjustuse lävi:> 30J/cm2 10NS
(3) Ülimalt madala neeldumiskatte, neeldumiskiirus: <20 ppm
(4) Galvanomeetri paksus läbimõõdu ja suhe: 1：35
(5) Läätse pinna täpsus: <= λ/5
Eesmärgijärgne lääts
| Maksimaalne sissepääsuõpilane (MM) | Optika 1 läbimõõt (MM) | Optika 2 läbimõõt (MM) | Optika 3 läbimõõt (MM) | Skannimisväli (mm) | Selge ava skanner (MM) | Lainepikkus |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355NM |
Reflektori peegel
| Osa kirjeldus | Läbimõõt (mm) | Paksus (mm) | Materiaalne | Kate |
| Räniflektor | 25.4 | 3 | Räni | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Räniflektor | 30 | 4 | Räni | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Kiudaineheli | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| Kiudaineheli | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| Kiudaineheli | 50 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@1030-1090NM ， AOI: 45 ° |
| 532 Reflektor | 25.4 | 6 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 Reflektor | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 Reflektor | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 532 Reflektor | 50 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@515-540NM/532NM, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 6 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355NM ja 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 6.35 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355NM ja 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 10 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355NM ja 433NM, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 30 | 5 | Sulatatud ränidioksiid | HR@355NM ja 433NM, AOI: 45 ° |
Galvo peegel
| Osa kirjeldus | Maksimaalne sissepääsuõpilane (MM) | Materiaalne | Kate | Lainepikkus |
| 55mml*35mmW*3,5mmt-x 62mml*43mmW*3,5mmt-y | 30 | Räni | MMR@10.6um | 10,6um |
| 55mml*35mmW*3,5mmt-x 62mml*43mmW*3,5mmt-y | 30 | Sulatatud ränidioksiid | Hr@1030-1090nm | 1030-1090nm |
| 55mml*35mmW*3,5mmt-x 62mml*43mmW*3,5mmt-y | 30 | Sulatatud ränidioksiid | Hr@532nm | 532nm |
| 55mml*35mmW*3,5mmt-x 62mml*43mmW*3,5mmt-y | 30 | Sulatatud ränidioksiid | Hr@355nm | 355NM |
Kaitselääts
| Läbimõõt (mm) | Paksus (mm) | Materiaalne | Kate |
| 75 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
